【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了Zn1-xFexO （x =1.0%,3.0%,5.0%）薄膜样品,并利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微（SEM）、X 射线光电子能谱（XPS）对其微结构、表面形貌和化学成分及价
【机 构】
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西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃省原子分子与功能材料重点实验室
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采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了Zn1-xFexO （x =1.0%,3.0%,5.0%）薄膜样品,并利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微（SEM）、X 射线光电子能谱（XPS）对其微结构、表面形貌和化学成分及价态进行分析,结果表明,Zn1-xFexO （x =1.0%,3.0%,5.0%）薄膜晶体结构为c 轴择优生长的六角纤锌矿结构,Fe在晶体中以二价和三价两种价态存在.利用振动样品强磁计（VSM）对样品的铁磁性进行测试,薄膜样品在室温下具有明显的铁磁性,并经分析认为铁磁性来源可能是磁性离子与空位
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