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目的:以六方纤锌矿结构的ZnO基薄膜作为室温光电材料,目的是降低薄膜的电阻率,并提高其光学透过率及薄膜结晶质量。方法:采用化学......

采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了Zn1-xFexO （x =1.0%,3.0%,5.0%）薄膜样品,并利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微（SEM）、X 射线光电子......