【摘 要】
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为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感牛电压效应的影响，采用脉冲激光沉积法在蓝宝石（0001）单晶平衬底上制备了薄膜，并利用X射线衍射对薄膜的结构进行了表征，
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为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感牛电压效应的影响，采用脉冲激光沉积法在蓝宝石（0001）单晶平衬底上制备了薄膜，并利用X射线衍射对薄膜的结构进行了表征，测量了薄膜在紫外脉冲激光辐照下诱导产生的激光感生电压信号，对结果进行了理论分析和实验验证，成功制备出了单一取向的薄膜，确定了最佳生长条件，并利用这一条件在倾斜蓝宝石衬底上制备了薄膜。结果表明，当薄膜受到波长为248nm、脉冲宽度为20ns的脉冲激光照射时，在薄膜两端存在较大的激光感生电压信号，其最大值为0．532V，且随着退火氧压的增
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