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金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响
金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响
来源 :高压物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:allpass001
【摘 要】
:
采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响,给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。
【作 者】
:
顾长志
张纪法
【机 构】
:
吉林大学超硬材料国家重点实验室,中国科技大学物理系
【出 处】
:
高压物理学报
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
金刚石
热导率
膜厚
薄膜
graphite
diamond
Hugoniotcurve.
【基金项目】
:
中国工程物理研究院院外基金,冲击波物理与爆轰物理实验室基金
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采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响,给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。
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