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为了改善太阳能选择性吸收表面的中高温性能，采用掺钨的氮化金属陶瓷得合材料作为太阳能选择性吸收涂层。根据复合材料的有效介质理论，对金属陶瓷膜系光学性能进行理论，采用磁控多靶反应玫射的方法对膜进行反演寻优工艺实验，在对复摹金属粒子体积分数ｆ、厚度ｄ进行多次组合实验后，取得了制备最佳组合膜系的油射工艺参数。实验结果表明，必须利用金属陶瓷吸收层与基底金属的干涉效应，再加减反射层才能得到理想的选择性吸收效果