一种利用光栅传感器的微小位移检测方法

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本文提出了一种利用光栅传感器检测微小位移的有效方法.利用莫尔条纹原理,采样光栅读数头的正、余弦信号输出,经运算、查表得到位移量的小步数(0.2μm/小步).借助余弦信号为正时正弦信号两次相继采样值符号的比较,得到位移量的大步数(20μm/大步).系统分辨率达0.2μm.
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