【摘 要】
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本文介绍了一种射频超导腔整腔酸洗的温度控制方法,利用化学抛光系统自动控制程序,分别对混酸温度、酸液自循环温度进行控制,并介绍了温度控制的方法,提供了温度控制的设置参
【机 构】
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753000 宁夏东方钽业股份有限公司 宁夏 石嘴山753000 宁夏东方超导科技有限公司 宁夏 石嘴山;
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本文介绍了一种射频超导腔整腔酸洗的温度控制方法,利用化学抛光系统自动控制程序,分别对混酸温度、酸液自循环温度进行控制,并介绍了温度控制的方法,提供了温度控制的设置参数,从而实现超导腔整腔酸液温度保持在15℃±2℃范围内,满足酸液温度不超过20℃的工艺要求,有效去除射频超导腔体内表面污染层和缺陷,提高表面的光洁平整度,减少失超或场致发射.
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