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不同温度下脉冲激光沉积LiCoO2薄膜的微观结构和表面形貌

来源 :江西师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：HC_luopo

【摘 要】

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使用脉冲激光沉积技术，不同的衬底温度，在单晶Si（100）衬底上沉积了锂离子电池正极材料Li-CoO2的薄膜．用XRD对样品进行晶体结构分析，用SEM观察了样品的表面形貌．结果显示，衬底温度对Li

【作 者】

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刘德生 钟淑英 姜迪友 杜燕兰 胡军平 叶志清 雷敏生 

【机 构】

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江西理工大学南昌校区,江西师范大学物理与通讯电子学院,蓝天学院材料系

【出 处】

：

江西师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

脉冲激光沉积 LiCoO2薄膜 衬底温度 微观结构 表面形貌 Pulsed Laser Depositions  LiCoO2 thin film  subst 

【基金项目】

：

国家自然科学基金（10564002）,江西省自然科学基金（0512017）和江西省教育厅科技项目（[2005]73）资助

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使用脉冲激光沉积技术，不同的衬底温度，在单晶Si（100）衬底上沉积了锂离子电池正极材料Li-CoO2的薄膜．用XRD对样品进行晶体结构分析，用SEM观察了样品的表面形貌．结果显示，衬底温度对LiCoO2薄膜的微观结构和表面形貌都有明显影响．在500℃以上的衬底温度下生长的样品结晶质量较好；晶体的颗粒尺寸随着温度的升高而增大．

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