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在超精密测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的发展需求，现有激光系统的某些性能已无法满足一些客户的要求。近日，畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪的制造商——英国计量产品世家Renishaw公司推出又一力作XL-80轻巧型激光干涉仪，