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介绍一种在高精度下兼有高频响和大行程特性的微位移装置。该微位移装置的单项性能指标达到行程２ｍｍ，频响４００Ｈｚ，精度０．３μｍ。这种微位移装置特别适合于非圆截面零件的数控车削。
高频响大行程微位移机构的研究
【摘 要】
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介绍一种在高精度下兼有高频响和大行程特性的微位移装置。该微位移装置的单项性能指标达到行程２ｍｍ，频响４００Ｈｚ，精度０．３μｍ。这种微位移装置特别适合于非圆截面零件的数控车削。
【机 构】
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清华大学,清华大学
【出 处】
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机床
【发表日期】
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1993年9期
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