精密数控抛光碳化硅表面去除特性研究

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaoqiongfang
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计算机数控精密机械抛光技术是制造高精度、高质量光学元件表面的主要技术之一.然而,对于碳化硅材料表面去除特性方面的研究却相对较少.在航天航空领域中,陶瓷类材料碳化硅的应用较为广泛.针对计算机数控精密机械抛光技术,根据一系列的抛光实验,研究并总结出碳化硅材料表面的去除机理.基于选择不同等级的四种变量参数:抛光磨头转速、抛光压力、磨头补偿量和抛光头角度,分析碳化硅材料表面的去除趋势.采用Taguchi方法可以有效优化实验设计参数、减少实验整体次数.结果表明:文中总结出对应的抛光参数组合和材料表面的去除特性,确保加工出高质量表面的碳化硅材料.
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