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精确对准耦合是阵列波导器件封装制造的关键技术，本文通过对光波导单模耦合模型的分析，研究了界面反射和几何对准偏差对模场耦合损耗的影响规律，提出了阵列波导器件对准耦合的工艺要求。
阵列光波导器件对准耦合的工艺要求
【摘 要】
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精确对准耦合是阵列波导器件封装制造的关键技术，本文通过对光波导单模耦合模型的分析，研究了界面反射和几何对准偏差对模场耦合损耗的影响规律，提出了阵列波导器件对准耦合的工
【机 构】
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湖南师范大学计算机部
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2012年19期
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