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可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。梯形曝光是通过把梯形分解成为一串单元矩形的序列,依次曝光,拼接而成。本文先简要叙述矩形曝光的控制,然后着重介绍梯形控制器的工作原理以及梯形的曝光过程。
梯形曝光过程的控制
【摘 要】
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可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。梯形曝光是通过把梯形分解成为一串单元矩形的序列,依次曝光,拼接而成。本文先简要叙述矩形曝光的控制,然后着重介绍梯形控制器
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1989年3期
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