【摘 要】
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一种检测氢的光电器件用于检验背面有铂闪光栅(薄铂层)的二极管的损坏。检测元件是一个 P/N 结,而不是常用的肖特基势垒或金属氧化物/硅场效应晶体管。指示氢的电信号用光调
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一种检测氢的光电器件用于检验背面有铂闪光栅(薄铂层)的二极管的损坏。检测元件是一个 P/N 结,而不是常用的肖特基势垒或金属氧化物/硅场效应晶体管。指示氢的电信号用光调制,而不用电调制。器件(图1)含有一个正掺杂衬底和一个
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