论文部分内容阅读
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统，本底真空达１０＾－７Ｐａ。该系统配有反射高能电子衍射仪，可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。
具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究
【摘 要】
：
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统，本底真空达１０＾－７Ｐａ。该系统配有反射高能电子衍射仪，可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。
【机 构】
：
浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1996年12期
【基金项目】
：
国家教委优秀青年教师基金,博士点基金,浙江省自然科学基金
其他文献
叫Fixate的小东西看上去就像个杯垫,不过科技含量相当高,表面覆盖了一层特殊纳米级材料,可以轻松吸附在任何平面上,而且你不需要去按压它,只要轻轻往墙上一扔立马粘得紧紧的,
以著录法与标目法相结合为原则,从检索的角度对几种题名在机读目录中的著录字段和著录方法做了一些探讨,目的在于如何著录题名能为读者提供更多和更有效的检索点,以提高图书
以250kVA三相逆变电源装置为例，采用DSP全数字控制，从软件和硬件两个方面介绍了模块化的设计方案，初步进行了电力电子集成技术的研究。
本文首次报道了Ａｌ／ｐ－Ｓｉ１－ｘＧｅｘ肖特基接触的制备与电学性质，Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ应变外处延层采用快速加热，超低压化学相沉积方法生长，实验表明，改变Ｇｅ组分ｘ的大小可以调节肖特基垒高度。
阐述图书采编业务外包合同管理的主要环节和基本要求,分析在图书采编业务外包合同管理中可能出现的问题,并提出加强图书采编业务外包合同管理的建议。
针对新升本科院校图书馆读者服务工作的现状进行了详细的调查与分析,并提出了改进新升本科院校图书馆读者服务工作的有效措施。
环模制粒成型技术以其高效率、高成型率、强适应性等优点广泛应用于生物质能源和饲料产业等领域。该文以苜蓿草粉为原料,应用POLYFLOW软件对环模制粒机挤压区流场进行数值模
竹是中国重要森林资源,利用过程中约有60%~70%的废弃物产生,造成资源的极大浪费。竹废弃物中约含65%的纤维素类物质、23%的木质素以及其他营养成分或功能性成分,可直接利用、
本文着重研究了０．６μｍ自对准Ｔｉ－ＳＡＬＩＣＩＤＥ ＬＤＤ ＭＯＳ工艺技术，ＴｉＳｉ２的形成采用两步快速热退火及选择腐蚀完成，Ｔｉ膜厚度的最佳选择使ＳＡＬＩＣＩＤＥ工艺与０．２μｍ浅结相容，源／漏薄层电阻为４Ω／□。上述技术已成功地应用于０．６μｍ自对准Ｔｉ－ＳＡＬＩＣＩＤＥ ＬＤＤ