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具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究
具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:die0410
【摘 要】
:
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统,本底真空达10^-7Pa。该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。
【作 者】
:
叶志镇
谢琪
【机 构】
:
浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年12期
【关键词】
:
硅片
低温外延
CVD
RHEED
在线监控
【基金项目】
:
国家教委优秀青年教师基金,博士点基金,浙江省自然科学基金
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本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统,本底真空达10^-7Pa。该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。
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