论文部分内容阅读
利用Ni金属诱导晶化(Metal Induced Crystallization,MIC)的方法制备p-Si薄膜XRD,Raman光谱研究结果表明,a-Si/Ni经440℃2h以上退火处理后,形成多晶相结构用SEM,XPS等分析手段对薄膜的结构进行分析,并对金属Ni诱导晶化的机理进行简要的探讨。