【摘 要】
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近年来,由于BaTiO3薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐.钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一.该法具有化学剂量比可控性好、不
【机 构】
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河北师范大学实验中心,沧州师范专科学校化学系
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近年来,由于BaTiO3薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐.钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一.该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点,因而逐步为材料学家所重视,是研制高质量超薄型膜的重要手段.本文用Sol-Gel工艺制备BaTiO3薄膜,研究了螯合剂乙酰丙酮对钛酸钡结晶起始温度的影响及薄膜微结构的影响规律.
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
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