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论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景。
化学气相沉积技术的研究与应用进展
【摘 要】
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论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景。
【机 构】
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兰州交通大学化学与生物工程学院
【出 处】
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甘肃水利水电技术
【发表日期】
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2008年03期
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