【摘 要】
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本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。
【机 构】
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本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。
In this paper, the single-crystal silicon of φ76.2mmFZ <100> has been successfully prepared by the positive-seeding and the small diameter coil technology. The growth mechanism and technology of single crystal have been studied. Products of high purity, good quality, processing performance superior to similar products, has been increasingly widely used.
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