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通过对预烘、光刻胶旋涂、软烘焙、对准曝光、后烘、显影、坚膜的光刻工艺过程分析,主要介绍了光刻工艺中容易出现的问题及解决方法,并通过实验和分析得出了可靠的技术方案.
光刻图形转移技术
【摘 要】
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通过对预烘、光刻胶旋涂、软烘焙、对准曝光、后烘、显影、坚膜的光刻工艺过程分析,主要介绍了光刻工艺中容易出现的问题及解决方法,并通过实验和分析得出了可靠的技术方案.
【机 构】
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上海师范大学数理学院
【出 处】
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上海师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2014年2期
【基金项目】
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973计划预研专项（2012CB326402）,上海市科委创新项目（13ZZ108）
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