【摘 要】
：
超薄圆片的减薄、划片技术是集成电路封装小型化的关键基础工艺技术,随着减薄后化学机械抛光(CMP)、旋转腐蚀、干法刻蚀或干法抛光等释放应力技术被广泛采用,减薄造成的圆片
论文部分内容阅读
超薄圆片的减薄、划片技术是集成电路封装小型化的关键基础工艺技术,随着减薄后化学机械抛光(CMP)、旋转腐蚀、干法刻蚀或干法抛光等释放应力技术被广泛采用,减薄造成的圆片背面损伤几乎为零,所以划片造成的微损伤对芯片断裂强度的影响变得越来越突出。本文分析了影响芯片断裂强度的主要原因,对薄片划片微损伤的来源、危害及解决方法进行了探讨。同时,着重介绍了一种新的激光划片方式,即喷水波导激光(LMJ)划片法。
其他文献
在新课程改革背景下,学生的自主学习成为教师和学者们关注的重点。现有研究针对自主学习能力的培养大多建议采用师生互动的方法,但是这些方法对小学生的自律性要求高,且缺少
经济的全球化和社会的信息化迫切需要与之相匹配的高素质的人才,新的教学理念——“核心素养”应运而生,并从20世纪末21世初开始,逐渐成为世界各地基础教育关注的热点。2014
钨(W)材料是最具希望的聚变堆中的面向等离子体材料,其在聚变等离子体的高热流、低能高束流的粒子流的作用下会发生多种损伤行为。这些损伤行为会对W材料的服役性能产生影响,
采用Volume of Fluid（VOF）模型对田山泵站进水池进行了三维流场计算,分析了不同水位及开机组合情况下泵站进水池的水流流态.研究发现：泵站低水位运行时,由于淹没深度较小,进水池
目的评价灌注指数对全凭静脉麻醉患者伤害性刺激反应的监测作用。方法择期行妇科开腹手术的患者36例,依芬太尼剂量随机分成3组:Ⅰ组,予芬太尼1μg/kg;Ⅱ组,予芬太尼3μg/kg;
随着运动控制性能、传感器技术的提升,表面轮廓测量技术得到快速发展。光谱共焦法是新一代光电传感器,测试精度高,干扰小,非常适合在高精密光学测试领域的测量。本文以光学透
花山谜窟的成因假说很多,从洞窟岩石、沿江分布和洞窟形状以及开挖方式分析,应是古人的采石场,是历代延续长期开采的结果。
本文主要是基于双膜盒式汽油机旁通阀控制思路,设计了一种双膜盒式废气旁通阀控制结构。在此基础上通过模拟计算的方法对旁通阀开度对发动机性能影响进行了相关研究,并对旁通
图像匹配一直是计算机视觉领域中的研究重点,在图像检索、图像配准、目标跟踪等诸多领域有着广泛的应用。异源图像包含的丰富互补信息,对于目标的全面、准确认识十分重要。但是由于不同的成像机理和条件导致异源图像之间存在明显的表征差异性,使得同源图像的匹配方法不能适用于异源图像,因此针对异源图像的匹配方法研究具有非常重要的意义。随着深度学习的飞速发展,基于卷积神经网络的图像匹配方法不断涌现出来。本文在总结现有
立体视觉的目的是依据所测的图像信息,创建被观测物体的三维模型。心理学上的视觉感知使我们得悉二维图像本身蕴含着丰富的三维信息,其中最重要的就是深度信息,因此深度测量