关于石井表记抛光机问题分析研究

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目前公司所使用的石井表记抛光机的型号为SHS500-X05,由于硅块在抛光过程中,受到硅块、设备本身、辅助材料、使用的工艺等各个方面的影响,使得硅块抛光质量有所下降。在必须满足抛光的要求,这给石井表记抛光机提出更高的要求,需要进行合理改进。 At present, Ishii epitaxial polishing machine used by the company model SHS500-X05, as the silicon block in the polishing process, by the silicon block, the device itself, supporting materials, the use of technology and other aspects of the impact, making the quality of silicon polishing The decline. The need to meet the polishing requirements, which Ishii table polishing machine put forward higher requirements, the need for reasonable improvement.
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