【摘 要】
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文章阐述了控制衍射光栅铝膜厚度的重要性。提出了用厚度系数标定铝膜厚度的方法。实验研究了铝膜厚度对衍射光栅闪耀效率的影响,给出了铝膜厚度系数的最佳范围。研究结果已
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文章阐述了控制衍射光栅铝膜厚度的重要性。提出了用厚度系数标定铝膜厚度的方法。实验研究了铝膜厚度对衍射光栅闪耀效率的影响,给出了铝膜厚度系数的最佳范围。研究结果已用于生产。
The article describes the importance of controlling the thickness of the aluminum film of a diffraction grating. A method of calibrating the thickness of aluminum film by thickness coefficient is proposed. The influence of the thickness of aluminum film on the blaze efficiency of the diffraction grating is experimentally studied, and the optimum range of the thickness coefficient of the aluminum film is given. The results have been used for production.
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