【摘 要】
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为微能流动的芯片的热凸刻的一个压力力量控制系统与忍受导螺杆的一台片刻马达和一个球被设计。基于数字 PID 技术，脉动的不可分的加速的 PID 控制的算法被介绍，从磨擦，清理和浸
【机 构】
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ResearchCenterforMicroSystemTechnology,KeyLaboratoryforPrecisionandNontraditionalMachiningTechnology
【基金项目】
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This project is supported by National Hi-tech Research and Development Program of China （863 Program, No. 2004AA404260）.
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为微能流动的芯片的热凸刻的一个压力力量控制系统与忍受导螺杆的一台片刻马达和一个球被设计。基于数字 PID 技术，脉动的不可分的加速的 PID 控制的算法被介绍，从磨擦，清理和浸透的非线性的否定效果被消除。为了改进 thequick 反应，典型的、独立的线技术被采用。压力力量的方法基于脉动的不可分的加速的 PID 控制控制，独立的线技术与令人满意的控制性能被使用。
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