新型微波ECR-PECVD装置的研制

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：annhongmay

【摘要】

：

介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波

【作者】

：

阴生毅陈光华粟亦农张永清

【机构】

：

北京工业大学材料科学与工程学院,中科院电子所微波器件中心

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

电磁线圈永磁体微波转换计算机仿真微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 ECR-PECVD ECRPECVD Wave guide Magnetic

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

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介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布,选择和采用了一种新型的矩形耦合波导.应用这一装置分解H2稀释的SiH4气体以沉积a-Si:H薄膜,获得了2 nm/s以上的高沉积速率.

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