【摘 要】
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采用激光脉冲沉积方法在SiO2衬底上制备了掺铝氧化锌（AZO）薄膜,X射线衍射分析（XRD）薄膜呈现六角形结构的c轴取向,掺杂后的氧化锌电阻率有明显的下降,并且在可见光区域有很高的透
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51462003,51762010)
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采用激光脉冲沉积方法在SiO2衬底上制备了掺铝氧化锌（AZO）薄膜,X射线衍射分析（XRD）薄膜呈现六角形结构的c轴取向,掺杂后的氧化锌电阻率有明显的下降,并且在可见光区域有很高的透过率,通过椭偏仪测量并拟合了薄膜其它光学性质。用Tauc-Lorentz色散模型表征了不同掺杂浓度的薄膜的折射率和消光系数,随着掺杂浓度升高透射光谱的吸收边向短波长移动,这与所拟合得到的带隙展宽相符。通过采用溶胶凝胶法（Sol-gel）制备了(Pb0.9La0.1)(Zr0.52Ti0.48)O3（PLZT）薄膜,并且制备了在PLZT薄膜沉积AZO形成AZO/PLZT的复合薄膜,通过电子显微镜观测了复合薄膜的表面形貌和截面结构,当电场强度为300 k V/cm时,测试复合薄膜铁电性时得到清晰的电滞回线,这为铁电薄膜晶体管的制备提供了可行性。
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