检测真空灭弧室内部放电的超声波传感器

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研制了一种能够检测真空灭弧室内部放电的超声波的传感器.内容包括对传感器的要求,传感器的实现方案,及传感器的绝缘和抗干扰问题.实测特性和放电声发射波接收实例验证了传感器的实用性.
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