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Ar/N2/CH4 Glow Discharge at Low Pressures
【机 构】
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PosgradoenCienciasFisicas,InstitutodeCienciasFisieas,EstudiantedelPosgradodelaFacultaddeCiencias,Fac
【出 处】
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物理科学与应用：英文版
【发表日期】
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2012年8期
【基金项目】
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The authors are grateful to A. Gonz/tlez, O. Flores,and Jos6 Rangel for technical assistance. The authors are grateful to B.E. Fuentes for helpful suggestion and comments. This research was partially
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