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以激光ＣＤ光学头为基础，提出了物自聚焦伺服微工作原理，并以此原理试制测微仪。利用半导体激光器作光源、ＣＤ光学 作高精度位移检测传感器，并利用高分辨率、高动态响应的压电晶体作微位移驱动源，建立实时闭环反馈的自聚焦伺服系统，由单片机进行控制，实现自动跟踪测量。系统首先在±５００μｍ范围内进行寻焦搜索，实现光学头聚焦于被测表面，随后立即进入闭环聚焦伺服，对微位移进行检测。可获得±０．１μｍ以上的测量精度