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以激光CD光学头为基础,提出了物自聚焦伺服微工作原理,并以此原理试制测微仪。利用半导体激光器作光源、CD光学 作高精度位移检测传感器,并利用高分辨率、高动态响应的压电晶体作微位移驱动源,建立实时闭环反馈的自聚焦伺服系统,由单片机进行控制,实现自动跟踪测量。系统首先在±500μm范围内进行寻焦搜索,实现光学头聚焦于被测表面,随后立即进入闭环聚焦伺服,对微位移进行检测。可获得±0.1μm以上的测量精度