【摘 要】
：
高数值孔径光学光刻中，成像光分布在较大的入射角范围内，传统顶层抗反膜优化方法只对垂直光来减小光刻胶上表面反射率，难以保证光在整个入射角范围实现反射率最小。提出全入射角
【机 构】
：
中国科学院电工研究所,北京理工大学,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
高数值孔径光学光刻中，成像光分布在较大的入射角范围内，传统顶层抗反膜优化方法只对垂直光来减小光刻胶上表面反射率，难以保证光在整个入射角范围实现反射率最小。提出全入射角范围顶层抗反膜优化方法，即在入射角范围内实现光刻胶-顶层抗反膜-空气（或浸没液体）界面的最小平均反射率，并优化顶层抗反膜参量。结果表明，该方法能减小薄膜干涉引起的成像线宽（CD）变化，有效控制成像摇摆效应，增大顶层抗反膜透射率，提高横电和横磁偏振光透射率之比，从而提高扫描曝光系统的生产率，进一步改善成像衬比度。
其他文献
文章在分析中国海岛县(区)经济发展现状的基础上,运用偏离—份额分析法对12个海岛县(区)的产业结构演变规律、特点和趋势进行研究；通过标准差和变异系数表现出各个海岛县(区)
小胶质细胞是存在于大脑中的吞噬细胞.自从二十世纪二十年代,小胶质细胞被发现以来,已经有大量关于它的研究.小胶质细胞体外培养研究已经大大增加了我们对这种细胞的了解.但
为配合成渝客运铁路的建设,2010年3月,考古工作者对四川资中县大包山墓地进行了抢救性发掘,共清理宋代单室石室墓5座,出土器物12件.墓室雕刻精美,内容丰富,是川南地区宋代墓
2010年3月,四川大学考古学系发掘了麦坪遗址B区的1500平方米,主要发现有新石器时代晚期的灰坑9座、灰沟2条、石棺葬3座,另外发现汉代瓮棺葬1座.这些发现为研究大渡河中游地区
“九月除道,十月成梁”一语见于先秦与秦汉文献,青川秦牍、张家山汉简、悬泉置壁书等秦汉出土法律文书中也有相似规定.除道、为桥、修堤等役作重复出现在不同月份皆有其特定
基于介质平面光波导端面无受限衍射场光束的光束传输因子的特点,阐明光波导TE0模模场分布采用高斯分布近似表达的合理性。基于场分布间的匹配效率计算公式,提出采用等效匹配
以异氟尔酮二异氰酸酯（IPDI）、聚四氢呋喃（PTMEG）和二羟甲基丙酸（DM-PA）为主要原料，通过自制端羟基聚苯乙烯作为扩链剂，在紫外光固化水性聚氨酯（UVW-PU）结构中引入刚性苯环基团来提高涂
应用全量子的分子轨道强耦合方法,研究了基态的O3+(2s22p 2P)与氢分子碰撞的非解离电荷转移过程,计算了不同方位角(25°,45°,89°),能量分别为100,500,1000和5000eV/u时的单
为了实现快速精确对准,研究了绕任意轴捷联惯导系统(SINS)的两位置对准问题.首先建立了一种基于李雅普诺夫变换的SINS等价误差模型.应用该模型,对SINS分别绕方位轴、俯仰轴和
应用分形维数对微弧等离子喷涂纳米AT13涂层的界面进行研究,结果表明:随喷涂电流的增加,纳米AT13涂层的界面分维不断增大,其结合强度也不断提高;随着氩气压力的增加,纳米AT13