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本文采用自制的LP-MOCVD设备，外延生长出CaInP2/GaAs/Ge叠层太阳电池结构片，对电池材料进行了X射线衍射测试分析。另外，采用二次离子质谱仪测试电池结构的剖面曲线。用此材料做出的叠层太阳电池，AMO条件下光电转换效率η=13.6%，开路电压Voc=2230mV，短路电流密度Jsc=12.6mA/cm^2。