【摘 要】
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利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余
【机 构】
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中国计量学院物理系; 浙江中力节能玻璃制造有限公司;
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(No.11204283);浙江省自然科学基金项目(No.LQ13A040002)资助课题
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利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲结构从薄膜边缘产生,并逐渐往样品中心区域扩展;在电话线屈曲的传播过程中,屈曲的各结构参量(包括波长、振幅、宽度等)均发生了明显演化。基于连续弹性理论,对电话线屈曲的结构特征和生长演化进行了分析,并估算了薄膜的内应力和膜基结合能。
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