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SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结......
期刊
SiAlNx薄膜
低辐射镀膜玻璃
电话线屈曲
力学性能
内应力
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