直线度误差组合分离方法及其误差分析

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimgui19810917
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在分析了精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上,介绍了为满足这些要求而发展的时域逐次两点法,三点法,精密逐次三点法,广义两点法以及频域方法,从数据融合和信息提取角度解释了方法的发展趋势,并提出了n阶误差分离模型,同时结合对这些方法的误差分析,提出了一种三次数据融合的时域直线度误差组合分离方法。
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