【摘 要】
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采用波长为532nm的脉冲绿激光对蓝宝石基片进行划切加工。首先研究单脉冲激光烧蚀加工蓝宝石材料,确定材料烧蚀阈值和产生裂纹阈值,分析激光能量密度与烧蚀凹坑深度和直径之
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院; 南京航空航天大学机电学院; 江苏省精密与微细制造技术重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(50805027,50675038);广东省自然科学基金项目(S2013010014070);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金
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采用波长为532nm的脉冲绿激光对蓝宝石基片进行划切加工。首先研究单脉冲激光烧蚀加工蓝宝石材料,确定材料烧蚀阈值和产生裂纹阈值,分析激光能量密度与烧蚀凹坑深度和直径之间的关系,接着对纳秒绿激光烧蚀蓝宝石基片的热应力进行了分析,最后进行脉冲激光划切蓝宝石的工艺实验。研究结果表明:纳秒绿激光烧蚀蓝宝石材料主要是基于光热作用的机理。光热作用使得蓝宝石材料熔化、汽化,为材料去除提供条件,过大的热应力导致材料产生裂纹。综合考虑激光划切工艺参数(能量密度、扫描速度、扫描次数)以及材料表面处理方式等因素,获得了切槽宽度为20μm,深宽比为7的良好切槽。
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