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采用分类综述的方法，介绍了纳米半导体薄膜制备技术的研究进展，并对各种制备技术的特点进行了评价。
纳米半导体薄膜制备技术
【摘 要】
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采用分类综述的方法，介绍了纳米半导体薄膜制备技术的研究进展，并对各种制备技术的特点进行了评价。
【机 构】
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五邑大学薄膜研究室!广东江门５２９０２０;
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金!69806008;广东省自然科学基金!970716
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