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分析了经180℃热处理的聚氯代对二甲苯（Parylene C）膜的结晶度、羰基峰、力学性能、透湿率、雾度等随热处理时间变化的规律。结果表明，在0～2h，随着处理时间的延长Parylene C膜结晶度增大，拉仲强度和雾度增大，透湿率及断裂伸长率减小；当处理时间大于2h时，由于Parylene C膜的热氧老化，使膜的拉仲强度和断裂仲长率减小，雾度和透湿率增大。