【摘 要】
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采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺,在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波（Lamb）型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性,并与传统的瑞利波（Rayleigh）型谐振器
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺,在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波（Lamb）型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性,并与传统的瑞利波（Rayleigh）型谐振器进行对比。测试结果表明,Rayleigh谐振器的谐振频率为305.15 MHz,温度灵敏度为10.74kHz/℃;而Lamb谐振器有7个谐振频率,分别为294.630MHz,398.125MHz,435.625MHz,482MHz,531.625MHz,570MHz和613.625MHz,其温度灵敏度分别为10.63k
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