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随着高密度互连(HDI)技术的发展,IC封装密度的提高,高解析度(分辨率)、均一性良好的超薄感光抗蚀膜成为必然需求,文中介绍了电沉积技术(ED)成膜的方法、原理以及相应的图形转移技术,并与传统干膜、旋涂成膜工艺进行对比,结果表明ED膜具有良好的粘附力、很高解析度以及精确的图形精度。
用于HDI的新型感光抗蚀材料与图形转移技术
【摘 要】
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随着高密度互连(HDI)技术的发展,IC封装密度的提高,高解析度(分辨率)、均一性良好的超薄感光抗蚀膜成为必然需求,文中介绍了电沉积技术(ED)成膜的方法、原理以及相应的图形转
【机 构】
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江南计算技术研究所,江南计算技术研究所,江南计算技术研究所 江苏无锡214083,江苏无锡214083,江苏无锡214083
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2007年11期
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