【摘 要】
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摘要 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的，是测量临界面附近等离子体状态的重要方法．基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准．用离子束溅射法制作了类镍银13．9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．
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摘要 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的，是测量临界面附近等离子体状态的重要方法．基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准．用离子束溅射法制作了类镍银13．9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％．
关键词 软X射线 分束镜 多层膜 干涉
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