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介绍自制溅射型负离子源及其关键部件——电离器的材料、结构、制作及使用情况。得到碳束C~-总流强】780μA,硅束Si-250μA.此电离器先后在2×1.7MV串列加速器的进口溅射源及200kV离子注入机自制溅射源上使用,寿命3000h。
自制溅射负离子源电离器的材料,结构,制作及使用情况
【摘 要】
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介绍自制溅射型负离子源及其关键部件——电离器的材料、结构、制作及使用情况。得到碳束C~-总流强】780μA,硅束Si-250μA.此电离器先后在2×1.7MV串列加速器的进口溅射
【机 构】
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中国科学院物理研究所,沈阳有色金属加工厂研究所北京100080,北京100080,北京100080
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1992年6期
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