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描述了真空微电子器件的发展概况，特别对场发射阵列的结构设计进展、微波用场射阵列研究、低压场发财阵列研究以及场发射平板显示器的现状进行了全面阐述。
一代前景诱人的新型器件
【摘 要】
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描述了真空微电子器件的发展概况，特别对场发射阵列的结构设计进展、微波用场射阵列研究、低压场发财阵列研究以及场发射平板显示器的现状进行了全面阐述。
【机 构】
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电子工业部第十三研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1998年5期
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