【摘 要】
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采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜，利用Lambda-900分光光度计，测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率．选定波长为310、350、400、430、550、63
【机 构】
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深圳大学理学院应用物理系,中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心
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采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜，利用Lambda-900分光光度计，测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率．选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究．同时，对Cu膜的光学常量也进行了讨论．结果显示，Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应．将波长为550nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度，该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的
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