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本文提出了利用光功率谱计算该自相关函数及均方根粗糙度的测量方法,对于高度光洁的表面,模似计算与理论分析的结果充分一致。此外,本文还给出了利用线阵 CCD 光电探测器对▽12,▽11,▽10三种表面光洁度比较样板进行测量的实验结果。
利用光学付里叶变换测量表面粗糙度
【摘 要】
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本文提出了利用光功率谱计算该自相关函数及均方根粗糙度的测量方法,对于高度光洁的表面,模似计算与理论分析的结果充分一致。此外,本文还给出了利用线阵 CCD 光电探测器对▽
【机 构】
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复旦大学物理系,上海纺织工业专科学校
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1990年1期
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