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本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试材料的电阻率分布和工艺芯片的杂质浓度分布，从而用以材料和器件工艺参数的测试分析。
扩展电阻探针在材料测试和器件工艺中的应用
【摘 要】
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本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试材料的电阻率分布和工艺芯片的杂质浓度分布，从而用以材料和器件工艺参数的测试分析。
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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1999年05期
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