两面顶技术低温超高压烧结AlN陶瓷的研究

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本文研究了掺杂不同质量分数的Y2O3的AIN陶瓷在超高压状态下烧结的物相组成和微观结构.研究表明,Y2O3是有效的低温烧结助剂,在低温超高压烧结下,掺杂不同比例烧结助剂的AlN陶瓷的第二相均为Al5Y3O12,在实验条件为4.4万个大气压,1500℃的温度,1h的烧结时间下,超高压烧结AIN陶瓷有着较好的微观结构,热导率可达到130W/m·K.
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