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本实验用氯气将钽块氯化，然后用氢还原，在镍基合金上沉积出致密的钽涂层。根据反应速度和温度的关系，求出反应的活化能，确认表面反应是过程的限制性环节。
化学气相沉积钽限制性环节初探
【摘 要】
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本实验用氯气将钽块氯化，然后用氢还原，在镍基合金上沉积出致密的钽涂层。根据反应速度和温度的关系，求出反应的活化能，确认表面反应是过程的限制性环节。
【机 构】
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河北师范大学科技开发总公司
【出 处】
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河北师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
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