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采用C型和E型整体平膜片结构,制作了0.1～60MPa量程范围的合金薄膜压力传感器.为实现0.1MPa以下低微压力的测量,提出了新颖的EI型力学结构.本文叙述了该结构的工作原理、设计依据、以及应用微细加工技术的工艺特点.
微量程合金薄膜压力传感器
【摘 要】
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采用C型和E型整体平膜片结构,制作了0.1～60MPa量程范围的合金薄膜压力传感器.为实现0.1MPa以下低微压力的测量,提出了新颖的EI型力学结构.本文叙述了该结构的工作原理、设计依据、以及应用微细加工技术的工艺特点.
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1997年01期
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