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根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间.实验结果表明:该设备能将纯度为99%的工业硅纯化为约99.99%的太阳级硅.
粉体纯化装置及工艺研究
【摘 要】
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根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率
【机 构】
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华中科技大学,广西工学院,湖南长沙万全科技开发有限公司
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2005年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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