等离子体纯化相关论文
对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能.理论计算结果与......
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制......
分析了粉粒在反应区的沉降过程，导出了沉降的最大速度及时间的公式，给出了离子在不同位置上的平均动能及粒子通量．还对高能中性粒子在......
给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14％的P型硅材料中单一杂质的阀值。针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性，......
文中提供了带倾斜角振动171极的等离子体反应室及他用于刻蚀硅粉的实验结果。振动171极上硅粉的运动分析表明其在反应区滞留的时间......
